Название: Микроэлектроника №3 (май-июнь 2019) Издательство: Наука Страниц: 80 Формат: PDF Качество: хорошее Размер файла: 14,4 МБ Язык: Русский
«Микроэлектроника» — Журнал посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлении, легировании, осаждении и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Микроэлектроника №3 2019 
Название: Микроэлектроника №3 (май-июнь 2019)