Название: Нано- и микросистемная техника №12 (2015) Страниц: 65 Формат: PDF Качество: хорошее Размер файла: 59,80 МБ Язык: Русский
«Нано- и микросистемная техника» — ежемесячный междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал. С 1999 г. по 2004 г. журнал выходил под названием «Микросистемная техника». С 2005 г. журнал выходит под названием «Нано- и микросистемная техника». Новое название ориентировано на расширение проблематики журнала, чтобы учесть динамику развития микросистемной техники, переход от технологических приемов микроэлектроники к нанотехнологии, использованию наноматериалов, созданию наносистемной техники.