Введение
Глава 1. Особенное проектирования ИМС
Глава 2. Проектирование гибридных ИМС
2.1.Конструктивно-технологические особенности
2.2.Определение функциональной сложности
2.3.Методы оптимизации ГИС по критерию функциональной точности
Глава 3. Расчет и проектирование резисторов
3.1.Расчет геометрических размеров резисторов
3.2.Выбор и обоснование материала резистивной пленки
3.3.Расчет и проектирование контактного перехода типа «пленка-пленка»
3.4.Проектирование подгоняемых резисторов
3.5.Точность отношения резисторов
Глава 4. Расчет и проектирование конденсаторов
4.1.Конструктивно технологические особенности и основные параметры
4.2.Расчёт геометрических размеров конденсаторов
4.3.Потери в плёночных конденсаторах
4.4.Планарные конденсаторы
4.5.Проектирование прецизионных конденсаторов
Глава 5. Расчет и проектирование RC-структур с распределёнными параметрами
5.1.Тонкопленочные RC-структуры с распределенными параметрами
5.2.Режекторные фильтры на основе RC-структур
5.3.Влияние погрешностей геометрии RC-структуры на электрические характеристики режекторных фильтров
5.4.Избирательные RC усилители
5.5. Активные фильтры на основе RC-стуктур
5.6.Конструктивный расчет фильтров на основе RC-стуктур
Глава 6. Основы оптимального проектирования ГИС
6.1.Зависимость погрешности выходного параметра
6.2.Исходные данные для проектирования топологии
6.З.Конструктивные методы защиты ГИС
6.4.Безкорпусная герметизация ГИС
Глава 7. Проектирование топологии ГИС
7.1.Принципы практического проектирования и компоновки топологической структуры ГИС
7.2.Разработка коммутационной схемы соединений
Заключение
Литература
Приложение 1
Приложение 2