Название: Технология микроэлектронных устройств Автор: Готра З.Ю. Издательство: Радио и связь Год: 1991 Формат: djvu Страниц: 530 Размер: 10 Mb Язык: русский
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология микроэлектронных устройств 
