Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частяхКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях Автор: М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина Издательство: М.: Бином. Лаборатория знаний Год: 2012 Страниц: 405+424 Формат: PDF Размер: 15.24 Mb Язык: Русский
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях 
