Название: Материаловедение в микроэлектронике Автор: Палатник Л. С., Сорокин В. К. Издательство: Энергия Год: 1977 Серия: Электронное материаловедение Страниц: 142 (в книге — 280) Формат: DjVu, PDF Размер: 14,4 МБ Язык: русский
В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Материаловедение в микроэлектронике 
