Название: Технология микросхем Автор: Парфенов О.Д. Издательство: Высшая школа Год: 1977 Формат: pdf Страниц: 255 Размер: 10,9 Mb Язык: Русский
В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии, эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация).
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология микросхем 
