Технологическое оборудование для микроэлектроникиКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В. Издательство: РИПО Год: 2014 Страниц: 392 ISBN: 978-985-503-369-2 Формат: PDF Размер: 66 Мб Язык: русский
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Скачать Камлюк В.С., Камлюк Д.В. - Технологическое оборудование для микроэлектроники (2014)
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технологическое оборудование для микроэлектроники 
