Микроэлектронные датчики и сенсорные устройстваКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства Автор(ы): Родионов Ю.А. Издательство: БГУИР Год: 2019 Страниц: 300 с.: ил. Формат: PDF Размер: 14.5 Мб Язык: русский
Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике. Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков. Все рассмотренные датчики описываются по единому принципу: детальное рассмотрение физического эффекта, лежащего в основе работы; выбор и практическая реализация конструктивно-технологических решений.
Скачать Родионов Ю.А. - Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства (2019)