Название: Микроэлектромеханические системы Автор(ы): Косых А.В., Лепетаев А.Н., Одинец А.И. Издательство: Омск: ОмГТУ Год: 2016 Страниц: 247 Формат: PDF Размер: 10 Мб Язык: русский
Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Interna-tional, Discera. Рассмотрены принципы работы и параметры МЭМС-резонаторов. Изложены особенности построения резонаторов и генераторов на основе МЭМС. Осуществлен расчет собственных мод колебаний МЭМС-резонатора в программе ANSYS. Издание предназначено для студентов радиотехнических специальностей.
Скачать Косых А.В. и др. - Микроэлектромеханические системы (2016)
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Микроэлектромеханические системы (2016) 
