Название: Термические процессы в микроэлектронике Автор: Моряков О. С. Издательство: Высшая школа Год: 1987 Формат: PDF/DjVu Страниц: 202 Размер: 10 Мб Язык: русский
В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е — в 1980 г. "Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве") дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Термические процессы в микроэлектронике 
