Название: Основы микросенсорики Автор: Родионов Ю.А. Издательство: М.: Инфра-Инженерия Год: 2019 Формат: pdf Страниц: 289 Размер: 19 mb Язык: Русский
Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника. атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий. обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков.