Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхемКНИГИ » АППАРАТУРА
Название: Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем Автор: Васильев В.Ю. Издательство: Новосибирск: Изд-во НГТУ Год: 2023 Формат: pdf Страниц: 128 Размер: 11 mb Язык: Русский
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с по мощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем 
