Название: Технология интегральных микросхем Автор: Смирнов В.И. Издательство: Москва, Вологда: Инфра-Инженерия Год: 2023 Формат: pdf Страниц: 244 Размер: 13 mb Язык: Русский
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.