Название: Технология микросхем Автор: Иванов-Есипович Н.К. Издательство: Высшая школа Год: 1972 Страниц: 258 Формат: pdf Размер: 10 mb Качество: хорошее
В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермичсской технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионноплазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем. Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология микросхем 
