Название: Летучие неорганические гидриды особой чистоты Автор: Девятых Г.Г., Зорин А.Д. Издательство: Наука Год: 1974 Формат: pdf Страниц: 207 Размер: 158,37 mb Язык: русский
Летучие гидриды элементов III-VI групп периодической системы находят все более широкое применение для получения элементов особой чистоты и для выращивания и легирования эпитаксиалышх полупроводниковых слоев. Монография содержит полный обзор исследований но получению, глубокой очистке гидридов и методам их анализа, определению природы примесей и их происхождения. Подробно рассматриваются физико-химические свойства гидридов, термодинамика и кинетика реакций их термического разложения с выделением гидридобразующего элемента.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Летучие неорганические гидриды особой чистоты 
