Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристалловКНИГИ » ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ
Название: Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов Автор: А.М. Афанасьев, П.А. Александров, Р.М. Имамов Издательство: Наука Год издания: 1986 Количество страниц: 97 Язык: русский Формат: DJVU, PDF Размер: 10,2 Мб
Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.