Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок Автор: Фелдман Л., Майер Д. Издательство: М.: Мир Год: 1989 Формат: pdf Страниц: 344 Размер: 11 mb Язык: Русский
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.