Название: Технология тонких пленок и покрытий Автор: Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф. Издательство: Екатеринбург: Уральский федеральный университет Год: 2019 Формат: pdf Страниц: 236 Для сайта:mymirknig.ru Размер: 11 mb Язык: Русский
В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике.