Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроникиКНИГИ » НАУКА И УЧЕБА
Название: Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники: Учеб. пособие Автор: А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова. Издательство: М.: Радио и связь Год: 1988 Формат: PDF Страниц: 264 Размер: 11,34 МБ Язык: русский
Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя. Для студентов вузов приборостроительных специальностей.