Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроникиКНИГИ » НАУКА И УЧЕБА
Название: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Автор: Гаврилов С.А., Белов А.Н. Издательство: М. : Высш. образование Год: 2009 Формат: pdf Страниц: 258 Размер: 11 mb Язык: Русский
Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической! кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники 
