Название: Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники Автор: Джоветт Ч.Е. Издательство: Москва: Металлургия Год: 1980 Формат: pdf/djvu Страниц: 112 Размер: 11 mb Язык: русский
В книге изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Исходя из современной практики их изготовления, проведен сравнительный анализ особенностей технологии производства тонких и толстых пленок, тонкопленочных микроволновых устройств, рассмотрены возможности, которые открывает использование гибридных элементов толстопленочных схем; обсуждены вопросы металлургической совместимости материалов, из которых изготовлены эти элементы. Кроме того, описаны типы многослойных разводок и техника их получения, процессы формирования толстопленочных резистивных структур, а также ряд других вопросов.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники 
