Название: Практикум по химии и технологии полупроводников Автор: Анохин В.З., Гончаров Е.В., Угай Я.А. и др.; Под общей редакцией Угая Я. А. Издательство: М.: Высшая школа Год: 1978 Cтраниц: 190 Формат: pdf Размер: 43 мб Язык: русский
В книге дано описание лабораторных работ по химии и технологии полупроводников. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химических исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построение P-T-x диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различных методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений. Книга знакомит с основными технологическими операциями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление). В каждой лабораторной работе дано теоретическое введение, приведены схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Практикум по химии и технологии полупроводников 
