Название: Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники Автор: А. А. Сазонов Издательство: Москва "Высшая школа" Год: 1991 Формат: pdf Страниц: 336 Размер: 15,49 Мб Язык: русский
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники 
