Название: Адгезионная способность пленок Автор: Углов А.А., Анищенко Л.М., Кузнецов С.Е. Издательство: Радио и связь Год издания: 1987 Количество страниц: 106 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 2,45 Мб
Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие на границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой. Приводятся методы измерения адгезионной прочности: нормального отрыва, скрайбирования, отслаивания и др. Списывается технология нанесения пленок: термическое испарение в вакууме, катодное и магнитронное распыление, ионно-плазменный метод, лазерное и электронно-лучевое напыление. Предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой процессов нанесения пленок.