Название: Микролитография Автор: Моро У. Издательство: Мир Год: 1990 ISBN: 5-03-001716-Х Страниц: 622 Формат: PDF Размер: 84,4 МБ Язык: Русский
Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.
Оглавление: Часть 1: Глава 1 Введение. Глава 2 Позитивные фоторезисты. Глава 3 Позитивные радиационные фоторезисты. Глава 4 Негативные фоторезисты. Глава 5 Негативные радиационные резисты. Глава 6 Подготовка поверхности к нанесению резистный плёнек. Глава 7 Предэкспанинционная термообработка (сушка) резистивных плёнок. Глава 8 Фотолитография. Глава 9 Радиационное экспонирование. Часть 2: Глава 10 Проявление изображений в резисте. Глава 11 Сушка после проявления (задубливание). Глава 12 Процессы нанесения. Глава 13 Травление. Глава 14 Удаление резиста. Глава 15 Контроль технологических параметров. Глава 16 Безрезистная технология. Глава 17 Состояние и перспективы развития технологии.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Микролитография 
