Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6КНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 Автор: Минайчев В.Е. Издательство: Высшая школа Год: 1989 ISBN: 5-06-000308-6 Страниц: 111 Формат: DjVu, PDF Размер: 10,3 МБ Язык: Русский
Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6 
