Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройствКНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Название: Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств Автор: Жигалина О.М. Издательство: МГТУ Год: 2017 Формат: pdf Страниц: 124 Для сайта:mymirknig.ru Размер: 32 mb Язык: Русский
Изложены основные понятия, относящиеся к науке о строении и свойствах сегнетоэлектрических материалов. Рассмотрены примеры применения и перспективы использования сегнетоэлектрических пленок в интегрированных устройствах современной микроэлектроники, а также основные тенденции развития материалов и технологий в этой области. Подробно рассмотрены вопросы формирования и визуализации структуры многослойных композиций на основе тонких пленок и границ раздела пленка - подложка на атомном уровне с помощью методов электронной микроскопии и моделирования изображений высокого разрешения, а также принципы создания наноструктур в пористых матрицах. Издание иллюстрирует возможности применения методов современного структурного анализа к исследованию и визуализации микро- и наносистем.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств 
