Автор: Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И. Название: Физические основы электронной и ионной технологии Издательство: М:, Высшая школа Год: 1984 Страниц: 320 Формат: DJVU, PDF Размер: 10 МБ
В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Физические основы электронной и ионной технологии 
