Название: Нитрид кремния и материалы на его основе Автор: Андриевский Р.А., Спивак И.И. Издательство: М.: Металлургия Год: 1984 Формат: pdf Страниц: 138 Размер: 29,2 Mb Язык: Русский
Рассмотрены структура, физические, физико-химические, механические и эксплуатационные свойства нитрида кремния и материалов на его основе. Охарактеризованы основные технологические приемы получения порошков и изделий из Si3N4, а также пленок, покрытий и монокристаллов.