Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники Автор: Зебрев Г. И. Издательство: Лаборатория знаний Год: 2020 - 4-е изд. Cтраниц: 243 Формат: pdf (ocr) Размер: 13 мб Язык: русский
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Скачать Зебрев Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники
|