Название: Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва Автор: Червоний І.Ф. (ред.) Издательство: Запоріжжя: ЗДІА Год: 2009 ISBN: 978-966-8462-24-5 Формат: pdf Страниц: 486 Размер: 102 Мб Язык: Украинский
Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва 
