Название: Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе Автор: Татаренко Н.И., Кравченко В.Ф. Издательство: Физматлит ISBN: 5-9221-0695-3 Год издания: 2006 Страниц: 192 Язык: Русский Формат: djvu Размер: 3.67 Мб
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе 
