Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленокКНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Название: Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок Автор: Васильев В.Ю. Издательство: LAP Lambert Akademic Publishing Год: 2018 Формат: pdf Страниц: 388 Размер: 13 mb Язык: Русский
Область монографии – полученные методами химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) тонкие неорганические стеклообразные пленки, используемые в технологиях микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, оптоэлектроники. На основании объемного экспериментального материала, в том числе полученного лично автором и коллективами под руководством автора, проанализированы процессы ХОГФ и свойства тонких пленок нитрида кремния, диоксида кремния, фосфор- и борсиликатных тонких пленок. Созданы основные представления о кинетике роста пленок при ХОГФ.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок 
