Название: Технология полупроводникового кремния Автор: Коллектив Издательство: Металлургия Год издания: 1992 Количество страниц: 406 Язык: русский Формат: DJVU Размер: 10,15 Мб
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве. Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Технология полупроводникового кремния 
