Название: Нанотехнологии в полупроводниковой электронике Автор: Асеев А.Л. Издательство: Новосибирск: СО РАН ISBN: 5-7692-0680-2 Год: 2004 Формат: PDF Страниц: 368 Размер: 128.4 MB
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологий для изготовления устройств наноэлектроники. Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.
Навигация
Вход на сайт
Реклама
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике 
